製品説明

製品仕様

規格	ASTM A269、ASTM A632、SEMI F19、SEMI F20
鋼種	TP316L (UNS S31603)
同等の規格	EN 10216-5: 1.4404 / 1.4435;JIS G3459: SUS316L;ASME BPVC セクション II SA-269 TP316L。
外径 (OD)	1/8インチ – 4インチ (3.18mm – 101.6mm)
肉厚 (WT)	0.035インチ – 0.120インチ (0.89mm – 3.05mm)
長さ	12mまでまたはコイル状
表面処理	電解研磨(EP)、光輝焼鈍(BA)
製造工程	冷間引抜- / 冷間圧延-
状態	溶体化処理、クリーンルーム梱包、二重袋詰め

TP316L には 2.0 ～ 3.0% のモリブデンが含まれており、孔食および隙間腐食に対して優れた耐性 (PREN 24 以上) を示し、304L よりも大幅に優れています。半導体の湿式洗浄ステーションやエッチング装置で一般的に見られる HCl、HF、NH4OH などの化学輸送条件下では、TP316L 電解研磨 SS チューブはより低い腐食率を示します。

このチューブは冷間加工と表面電解研磨を経て、Ra 0.13 μm 以下の表面粗さを実現し、流体抵抗を低減して UHP ガスシステムに適しています。

カスタマイズされたサービス

TORICHは、外径と肉厚を±0.025mmまで精密に制御し、精密な切断とバリ取りを行うことで、カスタマイズされた寸法と公差を提供します。
チューブは ISO クラス 5 (クラス 100) クリーンルームで最終洗浄と無塵乾燥が行われます。その後、真空-または窒素-パージされた二重-または三重-クリーンルーム-グレードの袋に梱包され、追跡可能な外部ラベルが貼られています。
直角切断と面取り、VCR フィッティング、フレア/フランジ加工、NPT または G ねじ切りなど、カスタマイズされたチューブ端加工サービスをご利用いただけます。{0}
カスタマイズされた表面粗さのオプションが用意されています: 標準 EP (Ra 0.2 μm 以下)、高純度 EP (Ra 0.15 μm 以下)、超高純度 EP (内面 Ra 0.1 μm 以下)--。

化学組成

要素	C	ん	P	S	シ	Cr	ニ	モー
TP316L (%)	0.030以下	2.00以下	0.045以下	0.030以下	1.00以下	16.0–18.0	10.0–14.0	2.0–3.0

機械的性質

財産	引張強さ(MPa)	降伏強さ (MPa)	伸長（％）	硬度（HB）
価値	485 以上	170以上	35 以上	95以下

考えられる代替グレード

コストを第一に考慮する場合は、TP304L が選択肢となります。モリブデンを含まず、TP316L よりも安価ですが、耐孔食性は劣るため、28nm 以上の成熟したプロセスノードを利用する施設のバルクガスシステムに適しています。
316L VAR はプレミアムアップグレードとして機能します。材料の純度が高く、表面欠陥が少ないため、最先端の製造ノード (7nm 以下) における重要なプロセスガスの配管に適しています。
TP316L が適さない、フッ化水素酸、濃塩酸、またはフッ素を含む化学薬品が使用される環境など、極度に腐食性の高い環境-には、42 を超える PREN 値を誇るハステロイ C-22 が有力な選択肢となります。{1}